| Gsemi-S系列 | |
| 植??球??精??度 | ±20 | 
| 植球能力范圍 | ≥150um | 
| 漏?????球?????率 | ≤0.01%(正常產(chǎn)品無翹曲) | 
| 最大產(chǎn)品尺寸 | 基板:300*300mm????????????????晶圓:4/6/8/12英寸 | 
| 最小產(chǎn)品尺寸 | 基板:50*50mm????????????????????晶圓:4/6/8/12英寸 | 
| 產(chǎn)品厚度尺寸 | 基板:0.4~6mm(含載具)????晶圓:≥200μm | 
| 鋼網(wǎng)框架尺寸 | 550*650mm~737*737mm(厚度:20:40mm) | 
| 傳輸方向 | 左進(jìn)右出、右進(jìn)左出、同進(jìn)同出 | 
| 清洗方式 | 粘輪+真空吸+離子風(fēng) | 
| 功率要求 | AC:220?±10%, 50/60Hz 2.2KW | 
| 設(shè)備尺寸 | L1240mm*W1410mm*H1500mm(不含三色燈) | 





